清代赵星五《重修等慈寺碑记》记载，清光绪年间还经过一次大规模的修葺；1944年在日军的炮火中，只留下了两通唐碑。1958年在大跃进炼钢铁时，当地有人认为碑石中含有铁质，将两通唐碑砸碎炼钢；2008年在进行城市建设时，偶得残石四块，后保存于郑州市博物馆中。
等慈寺与颜师古
等慈寺碑文的撰写者是颜师古。
颜师古（581－645），名籀，字师古，以字行。祖籍琅邪临沂（今山东省临沂市）。《颜氏家训》作者、名儒颜之推之孙，是唐代著名书法家颜真卿之祖；隋唐时期经学家、训诂学家、历史学家。官至秘书监、弘文馆学士，唐贞观中与魏征等撰修《隋书》。著有《汉书注》《匡谬正俗》《安兴贵家传》《大业拾遗》《正会图》《吴兴集》《庐陵集》等。贞观十九年（645），颜师古随从唐太宗征辽东，途中病故，终年六十五岁，谥曰“戴”。葬于长安咸宁县南二十里，即今陕西省西安市长安区。
颜师古于隋文帝时曾任安养县尉。隋朝末年，被授予朝散大夫之职。唐朝建立后，以中书舍人专掌机密。唐太宗即位后，拜中书侍郎，封琅邪县子。累官秘书监、弘文馆学士。贞观十九年（645年），颜师古随从太宗征辽东，途中病故，年六十五。谥号“戴”。
颜师古少传家业，遵循祖训，博览群书，学问通博，擅长于文字训诂、声韵、校勘之学；还是研究《汉书》的专家，对两汉以来的经学史也十分熟悉。
颜师古工书，然书迹无传，故认为颜师古所撰《等慈寺碑》为其所书。在法国所藏敦煌遗书《老子道德經卷》，为颜师古所书。
历代对等慈寺碑十分重视，早在宋代时，赵明诚《金石录》就有收录，说：唐等慈寺碑，颜师古撰，正书，无姓名，已上三碑，据唐史贞观三年立。
《太平寰宇记》卷五十二记载：“等慈寺。在县东七里。唐师旣破建德，有诏：于战所起寺立碑，以纪功焉。”又记：“牛口渚。在县北，与板渚迤逦相接。唐初，窦建德率众十万自板渚结阵。南属鹊山，以临汜水。太宗率轻骑击之，大溃。建德窜入牛口渚，将军白士让生获之。先是童谣云：豆入牛口，势不得久。果败此。”南宋郑樵撰《通志》，以及陈思所撰《宝刻丛编》都照录了赵明诚《金石录》和欧阳修的说法，由此可见，宋代的人并重视此碑的书法，而是把碑作为历史资料对待。
明代正统十年（1445）袁轼认为：等慈寺碑文观之，则知唐兴由于据虎牢之险，然非惟唐，昔虢叔恃险，晋悼扼险，汉高塞险，蜀兵守险，变皆经兹。仰惟圣朝，开万世之太平，旬改古崤，盖原通函谷名焉。尔瞻袁轼，承乏儒林，以诸生丐诗，纪关于沿革，漫赋一选，敬勒诸碑阴云。”又《中州金石记》说：“等慈寺碑贞观二年立，太宗破王世充窦建德，乃于战处建寺，为阵亡将士兵荐福，文中称王世充为王充，因讳去一字耳。”此外还有一些学者指出等慈寺碑文中有许多字是北朝写法。
真正从书法角度重视起来是清代碑学大兴之后，
清代书法大家王澍说等慈寺碑：“书法工绝，上援丁道护，下开徐李海，腆润跌宕，致有杰思。”
晚清学者杨守敬在《激素飞清阁评碑记》中说：《等慈寺碑》之书法“结构全法魏人，而姿态横生，劲利异常，无一弱笔，堪与欧虞抗行”。
又有人评说：“其字既有匀净精劲之风采，又得茂密雄健之精神，结体于精妙外见姿势，下笔峻利而又沉稳，故为唐楷中之杰出者。”故有人认为：习楷从此入手，既可上溯隋、陈、北魏之隽雅，又可下得中，晚唐之婉丽。
当代书法家欧阳中石说：学习等慈寺碑，“无论再学魏碑或成熟的唐楷，还是转学行书，都非常方便，有左右逢源之妙”评价很高。
细观等慈寺帖本，法取北魏，结体横平扁宽，用笔雄健，行笔便捷，自然朴拙，端正而灵动，严谨而舒展。呈北魏碑刻之法意，开初唐书坛一代新风。
