有报导称，荷兰光刻机巨子ASML将暂时中止为“我国客户”供给“极紫外光(EUV)微影设备”。中芯世界回应称：极紫外光(EUV)还在纸面作业阶段，未进行相关活动。ASML称，出口EUV到我国需获得荷兰政府的出口答应(export license)。该出口答应于本年到期，ASML现已于到期前从头进行请求，现在正在等候荷兰政府核准。
光刻机是半导体制作业中关键设备，直接决议芯片的功能水平。芯片在出产过程中需求进行20-30次的光刻，耗时占到制作环节的50%左右，占芯片出产成本的1/3。现在ASML在光刻机范畴市占率近80%，根本独占高端光刻机。光刻机是重要的卡脖子范畴，国产化火烧眉毛。
相关上市公司：
北方华创(70.55 -0.63%,诊股)：国内最大的集成电路设备提供商，芯片刻蚀机等设备已进入集成电路干流厂商，客户包含中芯世界、华为海思等。公司与国望光学、科益虹源等光刻机核心部件厂商同为北京国资委旗下企业;
张江高科(15.60 -0.26%,诊股)：参股上海微电子配备(集团)股份有限公司10.779%的股权。后者是国内仅有一家研制、出产以及出售高端光刻机的企业。
